【摘 要】
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以普通玻璃作为衬底用化学水浴法制备ZnS薄膜,溶液采用联氨体系.在沉积过程中,NH3浓度对ZnS薄膜本身的透明度、均匀性、平整性和透过性以及结晶性均有重要影响.采用扫描电镜（S
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以普通玻璃作为衬底用化学水浴法制备ZnS薄膜,溶液采用联氨体系.在沉积过程中,NH3浓度对ZnS薄膜本身的透明度、均匀性、平整性和透过性以及结晶性均有重要影响.采用扫描电镜（SEM）、能谱仪（EDS）、多功能高分辨率X射线衍射仪（XRD）和nkd-分光光度计等手段研究了不同氨水浓度对薄膜结构和性能的影响.结果表明：当氨浓度不大于1.5mol/L、沉积时间不超过1.5h时,可获得综合性能较好、接近化学计量比的ZnS薄膜,同时在红移方向上得到在较宽波长波段内透过率可达到95%以上的薄膜.
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