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回顾了光刻对准技术的发展功能,对各种对准方法的原理和特点进行了分析和评价,介绍了几种典型主流光刻对准系统结构形式,并对光刻对准技术前景进行了描述与展望。
光刻对准技术研究进展
【摘 要】
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回顾了光刻对准技术的发展功能,对各种对准方法的原理和特点进行了分析和评价,介绍了几种典型主流光刻对准系统结构形式,并对光刻对准技术前景进行了描述与展望。
【机 构】
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四川大学光电科学技术系,中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2004年10期
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