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介绍了位置敏感传感器的定位原理,研究了光源对其探测精度的影响。利用有限元分析软件FlexPDE对PSD数学模型进行模拟仿真,结果表明：光斑的半径与光斑所落的位置是影响定位精度的主要因素。
光源对位置敏感传感器定位精度的影响
【摘 要】
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介绍了位置敏感传感器的定位原理,研究了光源对其探测精度的影响。利用有限元分析软件FlexPDE对PSD数学模型进行模拟仿真,结果表明：光斑的半径与光斑所落的位置是影响定位精度
【机 构】
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西安电子科技大学微电子学院
【出 处】
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湖北汽车工业学院学报
【发表日期】
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2010年2期
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