【摘 要】
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本文展开了高介电常数（k）栅介质Si1-xGex NMOS场效应管性能的数值模拟研究,基于有限元法,建立了纳米尺寸（栅长=15 nm）NMOS场效应管模型。为了研究栅介质和衬底材料参数变化对器件
【机 构】
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南阳师范学院机电工程学院,南阳师范学院图书馆,上海大学理学院数学系
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本文展开了高介电常数（k）栅介质Si1-xGex NMOS场效应管性能的数值模拟研究,基于有限元法,建立了纳米尺寸（栅长=15 nm）NMOS场效应管模型。为了研究栅介质和衬底材料参数变化对器件性能的影响规律,利用数值分析手段,在衬底Si1-xGex中Ge组分x从0到1变化区间,选取不同介电常数的栅介质,且其厚度在一定范围内变化时,综合分析了纳米尺寸NMOS场效应管的转移特性曲线和输出特性曲线。分析表明,在栅介质的k值和厚度一定时,随着衬底中Ge组分x从0逐渐增大增加,器件阈值电压持续减小,直到x为85%
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