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利用LIGA技术的优势，针对电火花电极结构特点开发出相应的加工工艺，完成电火花复杂结构电极的制造。电火花电极的特点是大高宽比的金属柱状结构，这对于LIGA技术工艺具有特殊的难度，需要突破深孔显影和电铸工艺难题。通过大量的工艺试验，优化出电火花电极阵列结构的工艺路线，圆满完成阵列结构和异形复杂结构的电极制造，为电火花技术在新领域的应用提供了技术支持。