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双频激光干涉仪是一种以波长为标准对被测长度进行度量的仪器,经常作为长度测量标准使用,但影响其系统精度的误差因素很多。本文基于80m大长度测量装置对双频激光干涉仪系统精度以及影响因素进行分析。
基于80m测量装置的双频激光干涉仪系统精度及影响因素分析
【摘 要】
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双频激光干涉仪是一种以波长为标准对被测长度进行度量的仪器,经常作为长度测量标准使用,但影响其系统精度的误差因素很多。本文基于80m大长度测量装置对双频激光干涉仪系统
【机 构】
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青海省计量检定测试所
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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2011年09期
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