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通过对X射线测厚仪测量机理的研究，剖析了其机理模型黑匣子。同时根据现场情况，分析射线衰减系数、散射效应以及样板材质等对x射线测厚仪测量精度的影响，提出了一种带厚度增强因子的非线性模型。试验结果表明，厚度在0．1～2．5mm范围内，该模型只需要测量5个厚度点即完成基准曲线制作，测量精度可达到0．1％以内，简化了操作工序。