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对采用硅压阻压差传感器为测压元件，用压差法来测量气体流量的测量原理和结构、工艺等原因引入的不确定度进行分析。
压差传感器法测量气体流量的不确定度分析
【摘 要】
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对采用硅压阻压差传感器为测压元件，用压差法来测量气体流量的测量原理和结构、工艺等原因引入的不确定度进行分析。
【机 构】
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北京军区总医院
【出 处】
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测控技术
【发表日期】
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1996年04期
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