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研究了〈0001〉和〈12↑-10〉晶向α-Al2O3单晶在高剂量的Y、Pt离子注入后产生的损伤,注入层的性能变化和退火行为。实验结果表明,在室温,171keV、1×10^17/cm^2Y离子注入的〈12↑-10〉α-Al2O3单晶的表面层约有139nm厚被无定形化。而158keV、9×10^17/cm^2Pt离子注入的〈0001〉α-Al2O3单晶的表面层不产生无定形,且实际离子注入进衬底的剂量