【摘 要】
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随着电子技术和计算机技术进入干涉测试领域,出现了用于光学零件面形检验、测量精度达到λ/100的实时数字干涉仪,它标志着光学测试技术发展的新水平,代表了光学检测仪器的一
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随着电子技术和计算机技术进入干涉测试领域,出现了用于光学零件面形检验、测量精度达到λ/100的实时数字干涉仪,它标志着光学测试技术发展的新水平,代表了光学检测仪器的一个发展方向。我国在研制实时数字干涉仪方面正处在起步阶段。本文综述实时数字干涉技术的背景概貌,介绍几种采用不同位相调制方法实现直接位相测量的技术:外差干涉技术、锁相干涉技术和条纹扫描技术。
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