【摘 要】
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本文设计了一种快速冷热循环仪,可以实现对金属薄膜材料快速变温的控制,用于研究温度变化对薄膜的影响以改善集成电路的可靠性。该仪器包括升降位移机构、运动控制系统和水冷
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本文设计了一种快速冷热循环仪,可以实现对金属薄膜材料快速变温的控制,用于研究温度变化对薄膜的影响以改善集成电路的可靠性。该仪器包括升降位移机构、运动控制系统和水冷系统及加热系统等。通过计算机控制伺服电机以驱动移动装置快速上升和下降,从而使加热系统靠近及远离金属薄膜材料,使其迅速变温达到设定温度,通过冷却循环系统达到辅助降温的目的。该方法实现了对温度、时间、循环次数的控制,既可以迅速升温,快速给金属材料加热,又通过冷却液的循环加快降温速率。
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