论文部分内容阅读
纳米光刻技术在微电子制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是最好的方法之一.我们使用VB5电子束曝光系统,经过工艺研究,现已研究出最细分辨率剥离金属条为17nm,最小剥离电极间距为10nm,最细T型栅为100nm.
电子束纳米光刻技术研究
【摘 要】
：
纳米光刻技术在微电子制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是最好的方法之一.我们使用VB5电子束曝光系统,经过工艺研究,现已研究出最细分辨率剥离金属条为1
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第十三研究所,河北,石家庄,050051
【出 处】
：
中国微米/纳米第六届学术年会
【发表日期】
：
2003年8期
其他文献
以转AID基因细胞和AID基因敲减细胞为研究对象,旨在探讨5-氮-2＇-脱氧胞苷（5-Aza-2＇-deoxycytidine,5-Aza-CdR）对其细胞形态、细胞周期、相关基因表达及其基因启动子区甲基化状态
为了实现原核表达的途径高效获取抗菌肽蛋白,以RT-PCR的方法反转录合成家蝇的抗菌肽diptericin基因,并克隆至p GEX-4T-1载体上,转化至大肠杆菌BL21宿主菌进行表达。测序结果
半胱氨酸合成酶的产物半胱氨酸是植物中含硫氨基酸的重要来源,大蒜中含硫氨基酸丰富,研究大蒜半胱氨酸合成酶的性质及生物学功能以明确其在大蒜硫代谢中的作用。利用生物信息
旨在分析沙冬青Am CIP基因DNA序列结构特性及功能。以沙冬青Am CIP基因的c DNA序列设计引物,采用PCR扩增其DNA序列,并利用生物信息学方法分析基因的结构。序列分析表明,沙冬
针对目前高校与企业合作过程中存在的一些实际问题,分析高校与行业商会在"双创"合作平台过程中的案例,创新性地提出一种"平行管理"式的合作模式。重点针对高校在"双创"实践教
Act0988菌株产对柑橘青霉等多种霉菌具抗菌活性的代谢产物,对菌株进行鉴定、研究培养条件与菌株生长的关系,以为后续开发菌株产抗菌物质的培养基筛选及发酵工艺技术的研究奠
单机产品是构成航天型号项目的基本元素,是航天型号质量管理最基础的环节,也是型号项目成败的关键。作为单机产品研制模式之一的新研单机,其在研制过程中存在着大量技术风险
近年来,随着天然气这种清洁高效能源被广泛应用,LNG的国际贸易也得到了快速发展。分析当前LNG市场的发展概况和影响LNG运输船供需情况的各项因素：LNG的生产和供应能力,国际市
从土壤中分离到一株能高效降解噻吩磺隆的细菌LXL-7,经鉴定LXL-7为枯草芽孢杆菌（Bacillus subtilis）。在含100 mg/L噻吩磺隆的培养基中,菌株LXL-7降解噻吩磺隆的72 h降解率可达