论文部分内容阅读
申请(专利)号:201510120467.4公开(公告)日:2016-10-19申请(专利权)人:内蒙古盾安光伏科技有限公司摘要:一种三氯氢硅合成系统,包括合成炉、为合成炉供应与合成炉内外加硅粉反应HCL的HCL储罐、用于冷凝合成炉尾气的第一冷凝器、接收来自第一冷凝器冷凝后氯硅烷液体的冷凝料储罐、