【摘 要】
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为了快速准确地获取清晰的SEM显微图像，提出了一种基于图像分析的SEM显微视觉自动聚焦技术。该技术采用了两级清晰度评价函数的自动聚焦策略，首先利用基于灰度差分的评价函数对
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院研究生院
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为了快速准确地获取清晰的SEM显微图像，提出了一种基于图像分析的SEM显微视觉自动聚焦技术。该技术采用了两级清晰度评价函数的自动聚焦策略，首先利用基于灰度差分的评价函数对图像进行分析评价，然后以大步距遍历搜索函数峰值，直至第一次经过峰值；接着，再利用基于DCT（discrete cosine transformation）变换的评价函数来分析评价图像之后，以小步距进行局部搜索，直至搜索到清晰的SEM显微图像，完成SEM的自动聚焦。实验证明，该技术准确有效，具有较强的鲁棒性和实时性。
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