【摘 要】
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本文介绍了一种成本低、稳定性好的钛铜镍金多层复合导电系统,提出了应用连续溅射的方法,探讨了镍层阻挡铜金扩散的作用。
This paper presents a low cost, good stability
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本文介绍了一种成本低、稳定性好的钛铜镍金多层复合导电系统,提出了应用连续溅射的方法,探讨了镍层阻挡铜金扩散的作用。
This paper presents a low cost, good stability of titanium copper nickel gold multi-layer composite conductive system, the application of continuous sputtering method proposed to explore the nickel layer of copper diffusion barrier role.
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