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美国帕萨迪纳市加利福尼亚州理工学院（Caltech）的研究人员制造了一对外部覆盖着硅微芯片材料的厚度仅为几百纳米的支架。随后，他们利用化学手段在每个支架的表面腐蚀了一连串的小洞。
《自然》：新型纳米装置将光子转变为机械能
【摘 要】
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美国帕萨迪纳市加利福尼亚州理工学院（Caltech）的研究人员制造了一对外部覆盖着硅微芯片材料的厚度仅为几百纳米的支架。随后，他们利用化学手段在每个支架的表面腐蚀了一连串的
【出 处】
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纳米科技
【发表日期】
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2009年3期
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