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分子束外延生长InAsSb材料的组分控制
分子束外延生长InAsSb材料的组分控制
来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lynneselina
【摘 要】
:
采用分子束外延方法在GaAs和GaSb衬底上生长了一系列InAsSb薄膜,研究了Sb组分与Sb4束流间关系.实验发现,在分子束外延生长中,相比As原子,Sb原子更易并入晶格中.利用该特性可
【作 者】
:
孙庆灵
王禄
姚官生
曹先存
王文奇
孙令
王文新
贾海强
【机 构】
:
中国科学院物理研究所清洁能源重点实验室,中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室北京新能源材料与器件重点实验室,中国空空导弹研究院
【出 处】
:
红外与毫米波学报
【发表日期】
:
2016年4期
【关键词】
:
分子束外延(MBE)
铟砷锑
组分控制
molecular beam epitaxy ( MBE)
InAsSb
composition control
【基金项目】
:
Supported by Aeronautical Science Foundation of China (20132435, 20142435001 ), China Postdoctoral Science Foundation (2014M560936), General armaments department common technology project foundation (
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采用分子束外延方法在GaAs和GaSb衬底上生长了一系列InAsSb薄膜,研究了Sb组分与Sb4束流间关系.实验发现,在分子束外延生长中,相比As原子,Sb原子更易并入晶格中.利用该特性可较好实现InAsSb材料的组分控制.
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