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本文讨论了PSG钝化膜的结构特点，分析了PSG具有钝化作用的原因；并把PSG与SiO2进行比较，证明了PSG的优越性。介绍了三种PSG制造工艺，并比较了各自的优缺点，指出各工艺所适合的产品。对于想了解PSG钝化工艺的人们有一定的帮助。
磷硅玻璃钝化工艺的探讨
【摘 要】
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本文讨论了PSG钝化膜的结构特点，分析了PSG具有钝化作用的原因；并把PSG与SiO2进行比较，证明了PSG的优越性。介绍了三种PSG制造工艺，并比较了各自的优缺点，指出各工艺所适合的产品
【机 构】
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济南市半导体元件实验所
【出 处】
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科技信息
【发表日期】
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2009年3期
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