一种新型盘片轴向偏摆加速度测量仪

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本文介绍了一种新型盘片轴向偏摆加速度测量仪。这套测量系统是集精密机械,精密气浮,光电检测和计算机技术于一体的复杂测量系统。本仪器采用激光外差干涉仪作为传感器,能够测量盘片轴向偏摆速度,加速度和偏摆量,获得了较高的分辨率,稳定性和线性。不仅能够测量金属盘片,而且能适用于新发展的非金属盘片和记录介质。
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