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本文阐述了在三氯氢硅合成工艺中，工业硅粉中的杂质Al含量对三氯氢硅合成转化率和系统运行稳定性的影响，并以实际生产数据为依据，从经济损失的角度需要严格控制其硅粉中的杂质Al含量，以提高生产系统运行的稳定性，降低检修成本。
硅粉中的杂质Al对三氯氢硅合成转化率和系统运行稳定性的影响
【摘 要】
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本文阐述了在三氯氢硅合成工艺中，工业硅粉中的杂质Al含量对三氯氢硅合成转化率和系统运行稳定性的影响，并以实际生产数据为依据，从经济损失的角度需要严格控制其硅粉中的杂质Al
【机 构】
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昆明冶研新材料股份有限公司
【出 处】
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中国化工贸易
【发表日期】
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2004年期
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