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提出一种基于显微视觉伺服控制的MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机及关键技术模块的研制方案.以微型光谱分析仪极板粘接为示范应用开展了实验研究,表明该系统适用于典型MEMS芯片的微对准和封装研究.
基于显微视觉的MEMS微装配系统研究
【摘 要】
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提出一种基于显微视觉伺服控制的MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机及关键技术模块的研制方案.以微型光谱分析仪极板粘接为示范应用开展了实验研究,表明该系统适用
【机 构】
：
哈尔滨工程大学,哈尔滨工业大学,哈尔滨工程大学
【出 处】
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机械与电子
【发表日期】
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2005年5期
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