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利用射频磁控溅射法室温下在Si（100）衬底上制备了N掺杂的TiO2薄膜，并且采用x射线衍射（XRD）、X射线光电子能谱（XPS）和透射光谱对薄膜进行了表征。XRD结果表明在纯Ar和N2（33．3％）／Ar气氛下制备的TiO2-xNx薄膜均为单一的金红石相，薄膜结晶性良好，呈高度（211）择优取向，而在N2（50．0％）／Ar下制备的薄膜结晶性明显变差；对于N掺杂的TiO2薄膜，XPS表明部分N原子进入TiO2晶格，并且以N—Ti—O、N—O键以及间隙式N原子形式存在；透射光谱表明掺N后的TiO2薄膜吸收