【摘 要】
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<正> 斯图加特大学设计与加工技术系、光学与精密工具技术研究所举办的传统的光学研讨会于1996年2月21日召开。重点课题是:微型结构、近场显微术、干涉测量术和加工测量技术
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<正> 斯图加特大学设计与加工技术系、光学与精密工具技术研究所举办的传统的光学研讨会于1996年2月21日召开。重点课题是:微型结构、近场显微术、干涉测量术和加工测量技术。主办人为工程光学研究所的Tiziani教授。与会人员约300人。Tiziani教授首先做“三维测量技术的概括”报告,特别介绍了干涉测量的技术水平和发展趋向。相位测量与三角测量方法越来越变得实用,此外,还介绍了许多革新技术,如三波长干涉测量与斜光干涉测量的结合,用于粗糙表面的单位测量。还有双波长本振干涉测量、双本振干涉测量和白
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