切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
纳米级精度的线宽测量仪
纳米级精度的线宽测量仪
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:alim_zheng
【摘 要】
:
在大规模集成电路生产中,对掩膜版与硅片刻线宽度的在线检测是保证质量的重要手段。本文介绍了一种高精度,自动化的线宽测量仪。阐述了其原理,构成及设计中有关问题。经实验表明
【作 者】
:
王云庆
李庆祥
【机 构】
:
清华大学精密仪器系
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
1994年1期
【关键词】
:
线宽测量
显微镜
集成电路
纳米级
Linewidth measurement
Microscope
Image collection
Microcompute
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在大规模集成电路生产中,对掩膜版与硅片刻线宽度的在线检测是保证质量的重要手段。本文介绍了一种高精度,自动化的线宽测量仪。阐述了其原理,构成及设计中有关问题。经实验表明:该仪器的重复测量精度≤±0.005μm;测量精度为±0.02μm。
其他文献
光阑尺寸对干涉条纹对比度的影响
本文讨论用He-Ne激光器作光源时,光阑尺寸对干涉条纹可见度的影响。通过实验我们找到了最佳光阑的变化范围。
期刊
干涉条纹
光阑
激光
对比度
Diaphragm
Laser
Contrast
几种水生藻类的碳汇效应研究
全球变化科学的一个最重要的问题是全球大气C02的收支不平衡。岩溶动力系统是地球表层的重要组成部分,在地球表层系统中,以C02为中心环节将生物有机碳循环与"CO2—H2O—碳酸
学位
岩溶水
水生藻类
Ca2+
HCO3-
碳汇效应
风味韧皮鹌鹑蛋制作工艺研究
主要从工艺和配方两个方面进行研究。通过单因素和正交试验确定复合风味鹌鹑蛋的最佳配方为白糖添加量6%,姜添加量20%,焦糖色素添加量0.80%,盐添加量2.0%。通过对常温干燥、
期刊
鹌鹑蛋
配方
干燥
微波
热风
孟子思想中的乡贤文化
乡贤文化是孟子思想的有机组成部分。孟子讲的"善士""巨室""世臣"这三个概念,比较切合人们所说的乡贤。倡性善、行仁政、做大丈夫是孟子论乡贤文化的三个重要方面,并把内圣外
期刊
孟子
乡贤
内圣外王
中华文化
基于TD-ABC的T烟草配送中心定额指标体系研究
随着世界经济的腾飞,第一、第二利润源在日益枯竭,与此同时物流渐渐的成为了第三利润源,并在激烈的市场竞争中成为企业越来越重要的砝码,因此企业对物流成本控制的研究和探索
学位
T烟草物流配送中心
时间驱动作业成本法
成本定额指标
红外油份分析仪的研究
介绍了一种红外油份含量分析仪器的原理与结构.该仪器以比尔定律为基本原理,利用红外分析技术检测水中油份的含量,以确定其污染情况,应用于环境的监测,具有良好的前景。
期刊
含油量
红外分析
环境监测
红外油份分析仪
Oil content
Infra-red analysis
Environmental monitoring
认真贯彻《条例》 把党校工作做得有声有色──新任校长舒惠国对党校工作的殷切期望
认真贯彻《条例》 把党校工作做得有声有色──新任校长舒惠国对党校工作的殷切期望新年伊始,中共江西省委副书记、省委党校新任校长舒惠国同志明确指出:省委党校在新的一年里
期刊
党校工作
新任校长
《条例》
中央党校
认真贯彻
师资队伍建设
核心期刊
“三个转变”
领导艺术
社会主义
提高彩电图像分辨率的研讨
本文简要介绍利用计算机辅助分析程序做为有力工具,研究与分析亮度通道电路,从而提高彩电图像的分辨率。
期刊
图像分辨率
计算机辅助分析
彩电
亮度通道
Image resolution CAA
借力黄金水道加速转型 宜昌交运大股东易主
《国务院关于依托黄金水道推动长江经济带发展的指导意见》出台近一年,黄金水道沿线受益企业加速布局转型。$$ 位于黄金水道中游的宜昌交运(002627.SZ)就是其中的受益企业之
报纸
激光干涉测长系统中导轨—床身系统的二维动刚度实验研究
实践表明,激光干涉测长系统中的导轨—床身系统的动刚度对其测量精度有重大影响,但由于缺乏可靠、高精度的测量方法而往往未能在设计中,或使用中,予以避免或补偿。本文提出了
期刊
动态刚度
激光干涉仪
导轨
床身
Dynamic stiffness
Laser interferometer
Slideway-bed
与本文相关的学术论文