微波诱导硫等离子体的分子光谱模拟

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2450MHz微波诱导硫等离子体的发射光谱以S2分子的B3∑-X3∑g的谱线为主,利用FrankCondon原理,在确定硫等离子体温度轮廓的基础上,计算出微波诱导硫等离子体的光谱功率分布,与实验结果相符。
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