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MEMS技术的发展，使得PCR微流控芯片的制备成为了现实。本文采用波长248nm的准分子激光作为一种新型的微加工方法，在19KV电压和18mm／min的激光优化加工参数下，在40mm×63mm的PMMA基片上制备出了20个循环的PCR微流控芯片。芯片上微通道的宽为104mμ，深为56μm，长为1040mm，芯片加工耗时57分钟。随后采用自己搭建的热压装置，定量讨论了热压键合的温度、压力和时间对芯片键合质量的影响，得出了PMMA基微流控芯片热压键合的最佳参数：95℃，160N，20min。并在该条