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讨论了红外激光双光束干涉信号的数据采集及在半导体器件无损检测中的应用，并利用采集结果分析对比了器件的特性。
红外激光双光束无损检测的数据采集法
【摘 要】
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讨论了红外激光双光束干涉信号的数据采集及在半导体器件无损检测中的应用，并利用采集结果分析对比了器件的特性。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1997年2期
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