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红外激光双光束无损检测的数据采集法
红外激光双光束无损检测的数据采集法
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuanpeihai
【摘 要】
:
讨论了红外激光双光束干涉信号的数据采集及在半导体器件无损检测中的应用,并利用采集结果分析对比了器件的特性。
【作 者】
:
江剑平
陈汉祥
【机 构】
:
清华大学
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
半导体器件
无损检测
数据采集
激光干涉测量
Semiconductor Device
Nondestructive Testing
Data Acquisit
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讨论了红外激光双光束干涉信号的数据采集及在半导体器件无损检测中的应用,并利用采集结果分析对比了器件的特性。
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