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非平面直写式光刻电控系统的研究
非平面直写式光刻电控系统的研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wy2633110
【摘 要】
:
阐述一种非平面直写式光刻的电控系统、工作原理及组成,通过高效的控制方法,提高控制精度,实现工艺要求。
【作 者】
:
张云鹏
谢秀镯
宋波
蒲继祖
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2015年3期
【关键词】
:
非平面直写式光刻
振镜扫描
PID算法
伺服系统
Non planar direct write lithography
Galvanometer scann
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阐述一种非平面直写式光刻的电控系统、工作原理及组成,通过高效的控制方法,提高控制精度,实现工艺要求。
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