三维面形全场共焦检测的新方法

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三维面形全场共焦检测的新方法田维坚陈波庞霖曾红军郭履容(四川大学信息光学研究中心成都610064)在三维光学检测中,基于共焦原理的飞点扫描层析术,由于其高对比度、高分辨率,特别是它的三维检测原理简单、易于实行三维成像数字化处理等优点,已越来越引起人们...
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