外载荷下带有界面裂纹的DLC薄膜应力响应研究

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用有限元分析的方法,对受法向和切向联合载荷作用下的带界面裂纹类金刚石碳(DLC)膜力学响应进行了模拟研究。分析了薄膜厚度、裂纹长度和裂纹宽度对内部应力的影响。数值模拟结果表明:薄膜厚度对表面和界面处的应力有显著的影响;Mises等效应力的幅值和最大应力的位置对裂纹长度非常敏感,而对裂纹宽度的敏感度低。在一定的范围内(0
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