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通过CMP外包，Freescale能够加快工程评估，并将内部资源集中到生产需求上。
外包CMP工艺开发和材料评估
【摘 要】
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通过CMP外包，Freescale能够加快工程评估，并将内部资源集中到生产需求上。
【机 构】
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FreescaleSemiconductor,EntrepixInc.
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年8期
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