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外包CMP工艺开发和材料评估
外包CMP工艺开发和材料评估
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guosheng_741
【摘 要】
:
通过CMP外包,Freescale能够加快工程评估,并将内部资源集中到生产需求上。
【作 者】
:
Otto L. Luedke
Laura Ledenbach
【机 构】
:
FreescaleSemiconductor,EntrepixInc.
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2007年8期
【关键词】
:
工程评估
CMP
工艺开发
外包
FREESCALE
材料
生产需求
内部资源
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通过CMP外包,Freescale能够加快工程评估,并将内部资源集中到生产需求上。
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