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在从室温到800℃的温度范围内，用脉冲激光沉积方法在A1203（0001）衬底上制备了ZnO薄膜。采用X射线衍射仪、原子力显微镜以及荧光光谱仪分别研究了衬底温度对ZnO薄膜表面形貌、结晶质量和光致发光特性的影响。X射线衍射仪和原子力显微镜的结果表明，当衬底温度从室温升高到400℃时，ZnO薄膜的结构及结晶质量逐渐提高，而当衬底温度超过400℃时，其结构和结晶质量变差；在400℃下生长的ZnO薄膜具有最佳的表面形貌和结晶质量。室温光致发光的测量结果表明，400℃下生长的ZnO薄膜的紫外发光强度最强，且发光波