【摘 要】
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低温泵是KM6环境模拟器最主要的高真空获得设备,其二级冷头(板)的温度变化对低温泵的抽气性能有直接的影响,因此对低温泵内部实施全面、准确的温度监测对于保障低温泵的稳定
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低温泵是KM6环境模拟器最主要的高真空获得设备,其二级冷头(板)的温度变化对低温泵的抽气性能有直接的影响,因此对低温泵内部实施全面、准确的温度监测对于保障低温泵的稳定、可靠运行具有重要的意义。文章详细介绍了新研制的低温泵测温系统的软、硬件结构、测温元器件的选型及安装工艺、系统测试等内容。该新型测温系统已经成功投入使用,能够准确地提供试验过程中低温泵内部的温度状况,大大提高了低温泵运行异常时的分析手段,为试验的顺利进行提供了有力的保障。
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