【摘 要】
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采用光学相移法,对Si基片上Cu膜应力随退火温度的变化进行了研究.研究表明:随退火温度的升高,Cu膜应力减小,200 ℃时平均应力减小为-0.261×108 Pa,且应力分布均匀,在选
【机 构】
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安徽大学物理系,中国科学院固体物理所内耗与固体缺陷开放实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金 (No .5 9972 0 0 1);安徽省教育厅科研基金 (No .99JL0 0 2 4)资助课题
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采用光学相移法,对Si基片上Cu膜应力随退火温度的变化进行了研究.研究表明:随退火温度的升高,Cu膜应力减小,200 ℃时平均应力减小为-0.261×108 Pa,且应力分布均匀,在选区范围内应力差仅为2.244×108 Pa.同时用X射线衍射技术测量分析了Cu膜经过不同退火温度热处理后的微结构组织,研究了Cu膜的微结构对其应力的影响.
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