可见近红外双波段增透膜的设计及制备

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以K9为基底设计了一种覆盖部分可见及近红外双波段的增透膜,即:增透波长包括0.55~0.78μm和1.0~1.3μm两个波段。工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用岛津分光光度计对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明0.55~0.78μm波段平均透过率为98.01%,1.0~1.3μm波段平均透过率达到97.04%。通过SEM的膜层截面证实实际膜层厚度相对于设计值来说偏厚,致使透射率光谱曲线略往长波方向漂移,但所需波段内平均
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