【摘 要】
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2.3 冷凝捕集器 (上接 2 0 0 0年第 2期第 5 2页 )2 .3.1概述冷凝捕集器又称冷阱 ,是利用低温冷壁来捕集可凝性蒸气的一种低温冷凝捕集器。冷阱被广泛应用于高真空和超高真
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2.3 冷凝捕集器 (上接 2 0 0 0年第 2期第 5 2页 )2 .3.1概述冷凝捕集器又称冷阱 ,是利用低温冷壁来捕集可凝性蒸气的一种低温冷凝捕集器。冷阱被广泛应用于高真空和超高真空系统中 ,安装在主泵入口和真空室之间的管路上。冷阱不仅能有效地捕集来自蒸气流泵的返流蒸气和部分裂
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