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PPS膜电容式湿敏元件

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chenxinguohn

【摘 要】

：

本文介绍了PPS膜电容式湿敏元件的结构和特性,并提出了提高元件性能的措施。 This paper introduces the structure and characteristics of PPS film capacitive humidity

【作 者】

：

陈猛 马振国 杨津基 

【机 构】

：

清华大学电机工程与应用电子技术系,清华大学电机工程与应用电子技术系,清华大学电机工程与应用电子技术系 北京 100084,北京 100084,北京 100084教授

【出 处】

：

仪表技术与传感器

【发表日期】

：

1994年06期

【关键词】

：

电容式湿敏元件 PPS膜 湿敏 湿度传感器 电容值 湿滞 响应时间 等离子体聚合 电阻式 反应室 

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本文介绍了PPS膜电容式湿敏元件的结构和特性,并提出了提高元件性能的措施。 This paper introduces the structure and characteristics of PPS film capacitive humidity sensor, and puts forward the measures to improve the performance of the device.

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