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日本电产三协在“SEMICON JAPAN2008”（2008年12月3日～5目）上展出了支持3个FOUP、可同时搬运5枚晶圆的搬运机器人。电产三协将机器人装配在展位内，现场演示了搬运晶圆的状况。
支持3个FOUP可同时搬运5枚晶圆的机器人
【摘 要】
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日本电产三协在“SEMICON JAPAN2008”（2008年12月3日～5目）上展出了支持3个FOUP、可同时搬运5枚晶圆的搬运机器人。电产三协将机器人装配在展位内，现场演示了搬运晶圆的状况。
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2009年1期
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