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吉时利（Keithley）仪器公司日前发布了新的S510半导体可靠性测试系统。此系统是高通道测量的完整方案，用于65nm节点及更小尺寸的ULSICMOS过程工艺的可靠性测试和寿命。它提供了晶圆级可靠性（WLR）测试的高吞吐速率和高度的灵活性。减少评估可靠性和完成寿命建模的时间，从而减少项目的技术研发和工艺过程开发的耗时，缩短产品进入市场的时间。S510系统也可用于产品生产的WLR监测或作为实验室的参数测试系统。