二氧化硅陶瓷靶材的烧结

来源 :武汉大学学报(理学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:ggtand007
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通过添加SiO2超微粉末,成功地实现了SiO2陶瓷的低温烧结.在1 250 ℃的温度下,获得了密度接近理论值的高纯SiO2陶瓷靶材.对于不同微粉含量的靶材进行了断口形貌分析及其密度的比较.实验结果证明,超微粉的添加对SiO2低温下的致密烧结有明显的促进效果.
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