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利用电子微探针波谱仪,对单源固相混合真空镀膜制备的不同混合比的TiO_2:Ta_2O_5单层膜,进行了膜成份分析。选择P-T方法对电子探针测试数据做了理论修正。实验结果表明:由于TiO_2与Ta_2O_5真空蒸发温度的差异,单源混合蒸发时,出现了分馏蒸发现象。
TiO_2:Ta_2O_5固相混合薄膜的电子探针定量分析研究
【摘 要】
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利用电子微探针波谱仪,对单源固相混合真空镀膜制备的不同混合比的TiO_2:Ta_2O_5单层膜,进行了膜成份分析。选择P-T方法对电子探针测试数据做了理论修正。实验结果表明:由于T
【机 构】
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国防科枝大学应用物理系,国防科枝大学应用物理系
【出 处】
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红外与激光技术
【发表日期】
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1989年3期
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