450mm:可望而不可及的下一代晶圆(上)

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半导体业界经过八年不懈的努力,终于实现了晶圆尺寸从200mm到300mm的过渡。业界早在1998年巳开始筹建300mm制造厂,当时工艺以130nm制程为主,进入2000年工艺向lOOnm过渡,导致IC制造厂需要大小尺寸同时兼顾,一方面是晶圆尺寸的增大,另一方面是制程尺寸的缩小,使300mm实现的难度比预期的高。加上2001年半导体市场的总销售额下跌40%,也为300mm的建厂带来资金投入的困难,全年投片不到7万片。进入2002年300mm生产线终于开始量产,产量超过40万片,2003年产量165万片,20
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