热阴极电离真空规测量故障分析和改进

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【摘要】

：

本文讨论分析了有气体工作的真空室内，使用热阴极电离规测量真空度时，有关的故障问题，提出了检验和改进的简便实用方法 This article discusses the analysis of the gas chamb

【作者】

：

闻一之万树德邓必河

【机构】

：

中国科技大学近代物理系

【出处】

：

真空

【发表日期】

：

1997年01期

【关键词】

：

热阴极电离真空规真空度测量故障检验故障问题故障分析规管真空室真空测量钮子开关

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本文讨论分析了有气体工作的真空室内，使用热阴极电离规测量真空度时，有关的故障问题，提出了检验和改进的简便实用方法 This article discusses the analysis of the gas chamber with a vacuum, the use of hot cathode ionization gauge vacuum measurement of the degree of failure, the proposed test and improve the simple and practical method

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