有限距离的凸非球面的透镜补偿检验方法

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在用刀口检验凸双曲面反射镜时,一般采用传统的Hindle球检测法,但是在许多仪器中,需要曲面反射镜全口径使用,因此,Hindle球检测法是不合适的.此外,在很多情况下,刀口到待检非球面的距离很长,从而降低了刀口检验精度.为了解决这些问题,结合口径φ=120mm的凸双曲面的检测,在分析了传统检验方法的基础上,提出了有限距离球面波入射的凸非球面透射补偿检验方法.从设计结果上看,它缩短了刀口到待检非球面的距离,获得高精度补偿.实践表明,这种方法不仅能够提高加工效率,而且提高了加工精度,实际加工完成后,这块凸双曲面的RMS值达到了λ/60.
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