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提出了一个用于微机器人精度分析的通用方法，该方法以广义几何误差的形式描述各种误差源对机器人本体产生的影响，通过任两坐标系间的向后微分关系，利用运动学方程以及并联机构的环路特性，建立了微机器人的广义几何误差模型。基于此模型，对工作空间中的位姿差进行了仿真分析，验证了该法的有效性。此方法虽然是针对微机器人，但可推广应用到一般并联机器人的误差建模和精度分析。