弹头发射痕迹非接触三维检测仪

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本文介绍一种新研制的数字伺服聚焦式弹头发射痕迹非接触三维检测仪的原理、结构、控制以及实验结果.该系统垂直测量范围为±1mm,垂直分辨率为30nm ,聚焦光束直径为1μm,综合性能优于触针式弹头痕迹检测系统.
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