论文部分内容阅读
针对一种结构新颖的分离式微变形镜的动、静态特性进行了分析．从能量角度入手对微镜支撑结构在其不同运动状态下所表现出的等效弹性系数进行了推导．以z轴方向的平动为例对微镜的静态变形一电压关系、谐振频率及瞬态响应进行了详细讨论．分析结果表明，在115V时镜面变形可达2μm，而谐振频率为58．805kHz．同时通过与ANSYS模拟结果的对比证实了理论分析的可靠性．