【摘 要】
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微流控芯片的关键技术是内部封闭管道的制备，其中一步打印出微流控芯片及接口尤为重要。基于数字光处理（DLP）技术提出了一种新型的侧面曝光打印技术，并利用4F光路以及运动系统完成平台搭建。该3D打印系统的投影图像分辨率为12.5μm,靶面约为16 mm×10 mm。相比常用的上曝光或下曝光3D打印技术，其容易消除气泡且装置简单。通过对封闭管道打印机制分析及实验优化，可实现直径400μm的圆形或边长40
【机 构】
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上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系
【基金项目】
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上海市科委基础重大研发计划资助项目（17JC1401001）；
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微流控芯片的关键技术是内部封闭管道的制备，其中一步打印出微流控芯片及接口尤为重要。基于数字光处理（DLP）技术提出了一种新型的侧面曝光打印技术，并利用4F光路以及运动系统完成平台搭建。该3D打印系统的投影图像分辨率为12.5μm,靶面约为16 mm×10 mm。相比常用的上曝光或下曝光3D打印技术，其容易消除气泡且装置简单。通过对封闭管道打印机制分析及实验优化，可实现直径400μm的圆形或边长400μm的方形等封闭管道打印。为验证侧面曝光打印平台打印微流控芯片的可行性，设计具有一体化封闭管道和接口的模型进行打印测试，40 min可以打印一个6 mm厚的微流控芯片，管道打通率为100%。结果表明该平台可用于快速制作微流控芯片，未来可用于微流控及微纳制造领域。
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