论文部分内容阅读
采用非干扰的实时光谱学诊断检测手段,对XeCl准分子激光烧蚀沉积Y-Ba-Cu-O高温超导薄膜过程中的等离子体辐射进行了研究,光谱分析结果表明,由靶面出射的沉积粒子不仅有Y、Ba、Cu原子和YO、BaO、CuO分子,而且还有大量的一价和二价钇、钡、铜离子。实验中还探讨了发光辐射与激光能量密度及其充氧压的变化关系。