真空环境下超声电机的速度测试与控制

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研制了基于单片机的速度测试控制系统,根据超声电机的工作原理和运行速度与其驱动频率之间的关系,利用模糊参数自整定PI方法直接检测超声电机的转速,调节超声电机的驱动频率,控制超声电机以期望的速度运行于真空环境。实验结果表明,利用该系统可控制超声电机长时间稳定运行于真空环境下(最高真空度可达0.003 Pa),速度偏差控制在1 r/min以内,基本满足真空环境下超声电机测控的要求。
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